真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结。是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。那么在真空烧结炉工作的状态下也会出现一些问题。

第一、真空烧结炉在工作的情况下突然停电怎么办？

1、如果在非升温、加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，继续运转如需要较长时间，则将设备保持原状。

2、停电时，如果断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。

3、如果正在加热和冷却时，能够尽快恢复时，重新启动设备，如果需要较长时间时，则保持原状，让设备自然冷却下来。

第二、真空烧结炉真空室压力恶化怎么办

1、真空排气时间比通常长时，应把设备停下来进行检查，根据真空室内构造物不同状态下放气的影响，也有导致压力升高的情况。

2、通过压力上升测试或者用氦气检漏来确认是漏气还有放气的影响。

第三、真空烧结炉冷却水异常

1、确认加热电源已停止。

2、炉外发生漏水，冷却水量异常时，应尽快采取应急措施，如能保证水量，请继续保持真空，如不能采取应急措施，保持原状，确认设备冷却下来。

3、冷却水发生异常时，设备处于停止状态，马上接通紧急用冷却水。

4、在高温（超过200℃即视为高温）时，如果冷却水停止了，如果不能紧急送水，水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵可能被损坏。

从理论上讲，金属材料都可以在真空烧结炉中热处理。但因技术要求、加工成本、工艺实现的难易程度等原因，有些材料不能用真空烧结炉来处理呢？

第一、从成本角度考虑，碳钢价格较低，成品件价格较低，用真空烧结炉处理实属浪费，除非高利润工件或者工件已经没有加工余量，对表面质量要求苛刻时的权宜之计。

第二、某些使用特殊工艺的材料。比如为获取好的机械性能，有些工件要求获得贝氏体，一般用等温淬火来实现，真空烧结炉很难实现;再如T10钢，要求高硬度、低变形，一般用水淬油冷工艺实现，真空炉虽然可以用高压气淬获得高硬度，但因在Ms点以下温度冷速较快，变形较大。

第三、高温对N元素敏感，易形成有害效果的材料。真空热处理炉为防止合金元素高温时挥发，通常在高温下充高纯氮气保持分压，冷却时一般采用充氮冷却。故该类材料不宜用真空炉处理。

所以这些材料的处理不能采取真空烧结炉，大家一定要主要，避免造成没有必要的浪费。

编辑：Frank Lee

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