真空烧结炉是指在真空环境中对被加热物品进行保护性烧结的炉子，其加热方式比较多，如电阻加热、感应加热、微波加热等。真空烧结炉的子类真空烧结炉有碳化硅高温真空烧结炉、真空等静压烧结炉、真空加压快冷烧结炉、单室卧式热压烧结真空炉等。

那么真空烧结炉在使用的时候要注意哪些方面？

第一、真空烧结炉的控制柜安装在相应的地基上，并固定。

第二、检查真空烧结炉的控制柜中所有部件及配件是否完备、完好。

第三、安照接线图，并参考电气原理图，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保证接线无误。

第四、手动调压旋钮逆时针旋动头。 真空烧结炉的报警钮放在开位。

第五、检查电器可动部分应活动自如，无卡死现象。，绝缘电阻应不低于2兆欧姆。

第六、真空烧结炉各阀门必须在关闭位置。  真空烧结炉的控制电源开关放在关位。

第七、按平面图完成设备的循环冷却水联接，建议用户在设备总进出水管处再接入一备用水（可用自来水），防止循环水有故障或断电导致密封圈烧坏。

真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备，它设计构思新颖，操作方便，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。

真空烧结炉在运行过程中的应急处理方法：

第一、真空烧结炉的充气气体停止  要怎么办。

1、抽真空开始前，气体充入时间长或者无法充入时，请确认气体管路是否被堵塞。  如气体管路没问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作，为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。

2、向真空室内充气不能停止的情况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。  确认气体充气配管是否有漏气的地方，如有会影响制品质量。

第二、真空烧结炉的加热电源掉电怎么办。

1、查看一下是不是水压低，当水压低于0.15MPa，压力表报警。  接地故障。

2、真空放电，水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固，与反射屏绝缘要好。

3、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。

编辑：Frank Lee

版权：SIMUWU 真空炉