真空烧结炉的使用注意事项以及应急处理方法
真空烧结炉是指在真空环境中对被加热物品进行保护性烧结的炉子,其加热方式比较多,如电阻加热、感应加热、微波加热等。真空烧结炉的子类真空烧结炉有碳化硅高温真空烧结炉、真空等静压烧结炉、真空加压快冷烧结炉、单室卧式热压烧结真空炉等。
那么真空烧结炉在使用的时候要注意哪些方面?
第一、真空烧结炉的控制柜安装在相应的地基上,并固定。
第二、检查真空烧结炉的控制柜中所有部件及配件是否完备、完好。
第三、安照接线图,并参考电气原理图,接通外接主回路及控制回路,并可靠接地,保证接线无误。
第四、手动调压旋钮逆时针旋动头。 真空烧结炉的报警钮放在开位。
第五、检查电器可动部分应活动自如,无卡死现象。,绝缘电阻应不低于2兆欧姆。
第六、真空烧结炉各阀门必须在关闭位置。 真空烧结炉的控制电源开关放在关位。
第七、按平面图完成设备的循环冷却水联接,建议用户在设备总进出水管处再接入一备用水(可用自来水),防止循环水有故障或断电导致密封圈烧坏。
真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结,是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。
真空烧结炉在运行过程中的应急处理方法:
第一、真空烧结炉的充气气体停止 要怎么办。
1、抽真空开始前,气体充入时间长或者无法充入时,请确认气体管路是否被堵塞。 如气体管路没问题,检查电磁阀及气体充气阀的动作,为了安全与其相关联的设备要全部停止后再进行检查。
2、向真空室内充气不能停止的情况下,泄压阀动作如泄压阀动作时,要关闭气体供给阀及配管在内的所有气体系统。 确认气体充气配管是否有漏气的地方,如有会影响制品质量。
第二、真空烧结炉的加热电源掉电怎么办。
1、查看一下是不是水压低,当水压低于0.15MPa,压力表报警。 接地故障。
2、真空放电,水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固,与反射屏绝缘要好。
3、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源出现故障,掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。
编辑:Frank Lee
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