真空淬火炉可分为真空油淬炉和真空气淬炉。

   真空油淬炉适用于模具钢、弹簧钢、不锈钢、轴承钢、高温合金钢等的真空热处理。其主要特点是适用的材料范围广、淬透性强、成本低、淬火油可重复使用。不足之处是：变形量相对要大一些，有油污染，工件后续需要清洗。真空油淬炉从结构上可分为双室炉和三室炉等。

真空高压气淬炉适用于高速钢、不锈钢、模具钢等一些淬透性比较好的材料的真空热处理，特点是零件变形量小，无污染，零件热处理后不需要清洗。不足之处有淬火气体不能回收、成本较高。真空高压气淬炉从结构上可分为卧式和立式两种。卧式可分为单室、双室和三室等。立式的适用环形状、筒状和长杆状零件的热处理。真空高压气淬炉淬火压力一般为6bar～20bar。